LibraTM谐振式微悬臂梁芯片-第十三届全国环境催化与环境材料学术会议

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LibraTM谐振式微悬臂梁芯片

产品分类：云展厅

企业名称：厦门海恩迈科技有限公司

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详情介绍

LibraTM谐振式微悬臂梁传感芯片，是利用谐振式微悬臂梁的谐振频率变化与质量变化之间的定量关系来测量微小质量的工具，具有灵敏度高、体积小、成本低、可集成等优点，通过与不同敏感材料搭配，可制备多种多样高灵敏的质量型气敏传感器，同时也可用于热力学/动力学参数的测量。

该芯片是微悬臂梁气敏测试系统和界面热力学/动力学参数分析仪的核心器件。